Rest Gas Analysis (RGA)

Binnen de semicon en medische industrie worden hoge eisen gesteld aan de reinheid van producten. Deze gelden ook op het gebied van moleculair niveau, onder andere koolwaterstof verbindingen. Indien mono of assembly delen niet goed gereinigd zijn, kan dit een verstoring opleveren in het eindproduct van de klant. Binnen de (precisie) reiniging is kwalificatie van producten met behulp van Rest Gas Analysis (RGA) een standaardmethode. 

Alvorens de RGA scan wordt uitgevoerd, is het raadzaam om de producten in een vacuüm oven te laten behandelen om eventuele moleculaire vervuiling verder te verwijderen.